光刻机耗电有多高？euv光刻机的工作原理

最关键的原因出在光源上面，EUV光刻机使用的是不是一般的光，而是极紫外光。

这种光非常容易被吸收，连空气都不透光，所以整个生产环境必须抽成真空，而且还要使用功率极大的激光器才能够生成。

此外，设备中的极紫外光想要到达晶圆上面，还需要不断的修正光路方向，这就是大家经常会看到它们会不停的反射的原因。

但每经过一次反射，就会有约30%的损耗，最终大约只有不到2%的光线到达晶圆。由于损耗太多，耗电量也就上去了。

而且损耗的过程中会产生很多热量，需要大量设备进行降温，这电量不就蹭蹭蹭上去了嘛！

再说个数据吧，一般的DUV光刻机的光源，也就45瓦的功率，但是EUV光刻机它的光源功率需要500瓦。

而台积电拥有将近100台EUV光刻机，在7nm以下的芯片产能方面，直接拿下了全球80%的份额，堪称是一家独大的绝对垄断。

更重要的是，芯片制造对于电力的稳定性要求极高，几百道生产工序，任何一环都不能出错，如果由于电力不稳导致失败的话，那么这一批芯片就可能报废不能用了。

据统计，2021年深圳全社会用电量达1103.4亿千瓦时，其中居民用电约15%，即165.5亿度左右。而台积电2021年耗电191.9亿度，足够深圳约1800万常住人口一年所需。

这还仅仅是2021年的，未来随着芯片制程越来越低，台积电耗电量还会越来越高。

但是台湾省本来资源就有限，很多能源都高度依赖进口，一个台积电每年要消耗这么多电，对于其他行业来说还是挺吃力的。

据悉台积电也考虑过这个问题，再加上市场上3nm芯片客户需求情况，发话说可能会关闭一些EUV光刻机来节约电能。

想一想还是挺尴尬的，买到了这么多的EUV光刻机，最后却要关机，还不如偷偷卖几台给我们？咱们可不怕它耗电大的。